N.P.马哈里克
Language: Chinese
光刻 刻蚀 微制造 微机电系统(MEMS) 微流控芯片 纳米技术 自分子组装 薄膜沉积
Publisher: 机械工业出版社
Published: Jan 1, 2019
这本书被广泛认为是微纳制造领域的“圣经”和百科全书，是一部内容极为详尽、覆盖面极广的权威参考著作。它旨在为研究生、科研人员以及从事微机电系统（MEMS）、半导体、生物芯片和纳米技术等领域的工程师，提供一个关于微米和纳米尺度制造技术的完整知识体系。
本书的特点在于其无与伦比的广度与深度，它不仅详细阐述了技术原理，还追溯其科学源头，并展示了其在各个前沿领域的应用。
本书的核心内容通常会涵盖以下几个方面：
微纳尺度基础： 介绍进入微米和纳米世界所必须理解的物理、化学和材料学原理，如尺度效应（Scaling Laws）。
“自上而下”（Top-down）的微加工技术： 这是本书的传统核心，详细讲解了源自半导体工业的、用于制造微米级结构的一系列关键工艺：
光刻技术（Photolithography）： 将图形从掩模转移到基片上的核心技术。
薄膜沉积（Thin Film Deposition）： 包括物理气相沉积（PVD）、化学气相沉积（CVD）等在基片上生长薄层材料的技术。
刻蚀技术（Etching）： 选择性地移除材料以形成结构，包括湿法腐蚀和干法腐蚀（如等离子体刻蚀）。
“自下而上”（Bottom-up）的纳米技术： 随着技术的发展，新版次中加入了纳米技术的重要内容，探讨了利用化学和物理原理让分子或原子自行构建成有序结构的方法，如自分子组装（Molecular Self-assembly）。
特殊微制造工艺： 介绍LIGA技术（光刻、电铸、注塑）、微机械加工、激光加工等用于制造非硅基或三维微结构的技术。
应用领域： 展示微纳制造技术的巨大应用潜力，重点介绍微机电系统（MEMS）（如加速度计、压力传感器、微镜阵列）和**微流控芯片（Microfluidics / Lab-on-a-Chip）**的设计与制造。
检测与表征技术： 讲解用于观察和测量微纳结构的各种先进仪器，如扫描电子显微镜（SEM）、原子力显微镜（AFM）等。
总之，这是一本内容包罗万象的重量级专著，是所有希望深入和全面了解微纳制造技术的人士不可或缺的参考宝典。
Description:
这本书被广泛认为是微纳制造领域的“圣经”和百科全书，是一部内容极为详尽、覆盖面极广的权威参考著作。它旨在为研究生、科研人员以及从事微机电系统（MEMS）、半导体、生物芯片和纳米技术等领域的工程师，提供一个关于微米和纳米尺度制造技术的完整知识体系。
本书的特点在于其无与伦比的广度与深度，它不仅详细阐述了技术原理，还追溯其科学源头，并展示了其在各个前沿领域的应用。
本书的核心内容通常会涵盖以下几个方面：
微纳尺度基础： 介绍进入微米和纳米世界所必须理解的物理、化学和材料学原理，如尺度效应（Scaling Laws）。
“自上而下”（Top-down）的微加工技术： 这是本书的传统核心，详细讲解了源自半导体工业的、用于制造微米级结构的一系列关键工艺：
光刻技术（Photolithography）： 将图形从掩模转移到基片上的核心技术。
薄膜沉积（Thin Film Deposition）： 包括物理气相沉积（PVD）、化学气相沉积（CVD）等在基片上生长薄层材料的技术。
刻蚀技术（Etching）： 选择性地移除材料以形成结构，包括湿法腐蚀和干法腐蚀（如等离子体刻蚀）。
“自下而上”（Bottom-up）的纳米技术： 随着技术的发展，新版次中加入了纳米技术的重要内容，探讨了利用化学和物理原理让分子或原子自行构建成有序结构的方法，如自分子组装（Molecular Self-assembly）。
特殊微制造工艺： 介绍LIGA技术（光刻、电铸、注塑）、微机械加工、激光加工等用于制造非硅基或三维微结构的技术。
应用领域： 展示微纳制造技术的巨大应用潜力，重点介绍微机电系统（MEMS）（如加速度计、压力传感器、微镜阵列）和**微流控芯片（Microfluidics / Lab-on-a-Chip）**的设计与制造。
检测与表征技术： 讲解用于观察和测量微纳结构的各种先进仪器，如扫描电子显微镜（SEM）、原子力显微镜（AFM）等。
总之，这是一本内容包罗万象的重量级专著，是所有希望深入和全面了解微纳制造技术的人士不可或缺的参考宝典。